El desafío

El reactor de obleas consta de 2 discos de grafito que se calientan a la temperatura de proceso adecuada. Estos discos deben presentar unas características específicas para conseguir unos resultados óptimos. Durante este proceso, se utiliza un gas que hace que el disco de oblea flote entre los dos discos sin tocarlos. Para alcanzar la temperatura necesaria de 1.200 grados Celsius, se utilizan elementos calefactores especiales Kanthal®.

El objetivo era utilizar métodos innovadores de transferencia de calor que permitieran que la oblea se calentara muy rápidamente y se enfriara también muy rápidamente. Ambas caras de la oblea tienen una apertura uniforme de 0,15 milímetros, lo que garantiza una conductividad térmica extremadamente eficaz. La oblea se calienta hasta la temperatura de los discos de grafito en cuestión de segundos. Se controlan mediante un sistema especial de control de la calefacción.

Enfoque de la solución

Se utiliza un controlador de potencia de tiristores JUMO para controlar el calentamiento. El controlador JUMO TYA 201 controla la corriente y el voltaje deseados del elemento calefactor Kanthal® en cada fase de temperatura, garantizando así un perfil de temperatura exacto del proceso. Este sistema permite la producción de obleas a la temperatura óptima, que es siempre idéntica.

El resultado del proyecto

Gracias a las características del controlador de potencia de tiristores JUMO TYA 201, se pudo cumplir el requisito de un control más preciso y una corrección de temperatura más rápida. Como resultado, ahora se pueden utilizar métodos innovadores de transferencia de calor en la fabricación de semiconductores. De este modo, Levitech satisface las exigencias del mercado y aumenta la productividad al mismo tiempo.