Sensores de presión piezoresistivos (0,04 a 100 bar)
Este tipo de sensor de presión puede utilizarse en un rango de presión extremadamente amplio. En función de la presión, un chip de silicio piezoresistivo cambia su valor de resistencia.
El chip no se coloca sobre la membrana, sino que se expone directamente a la presión del proceso. Para medir valores de presión muy bajos (exclusivamente en gases), el medio de proceso se introduce directamente en el chip (aprox. 0,04 a 0,1 bar). Si se mide una presión superior, se utiliza aceite de relleno en los sensores.
La presión del proceso se transfiere al aceite de relleno a través de una membrana y éste se introduce en el chip de silicio. Este tipo de diseño permite medir de forma rentable la presión en gases y líquidos hasta 100 bar. En principio, también pueden construirse sensores para medir hasta 1000 bar. Sin embargo, debido a los costes relativamente elevados, el método sólo se utiliza a presiones tan altas si existen razones especiales para ello.
El material semiconductor es muy sensible a la temperatura, por lo que la compensación de temperatura y, por tanto, la electrónica de evaluación de estos sensores son relativamente complejas, lo que supone un reto para el fabricante. También se pueden realizar versiones de alta temperatura gracias a la transmisión de presión a través del aceite de relleno.