Конструкція товстоплівкових керамічних сенсорів
Корпус керамічного товстоплівкового датчика, або вимірювальної комірки, утворений суцільним кільцем з оксиду алюмінію (Al2O3), а його передня частина являє собою закриту діафрагму, також відому як кільцева діафрагма. Корпус і діафрагма утворюють єдине ціле.
На зовнішню сторону діафрагми (на яку не впливає тиск) тензорезистивні датчики наносяться методом трафаретного друку у вигляді товстоплівкової резистивної пасти. Потім вони запікаються при високих температурах і покриваються додатковим захисним лаком або склом.
Пасивна температурна компенсація
Компенсаційні резистори часто інтегруються в друковану схему на додаток до тензорезисторів, щоб безпосередньо протидіяти температурному впливу на датчик. Цей тип компенсації називається пасивною температурною компенсацією.
Товстоплівкова керамічна мембрана датчика
Товщина мембрани залежить від діапазону вимірювання. Для керамічних елементів вона зазвичай становить від 0...1,6 бар до 0...100 бар.
Матеріали, що використовуються
у виробництві товстоплівкових комірок
Перевага цього типу датчиків полягає в тому, що кераміка стійка до корозії
і стійкість до стирання. Однак при монтажі в корпус датчика тиску необхідна додаткова герметизація.
У готовому датчику тиску з вимірюваним середовищем контактують три різні матеріали: керамічний датчик, ущільнення і технологічне з'єднання. Отже, всі ці компоненти повинні бути враховані при перевірці сумісності з вимірюваним середовищем.
Основною перевагою кераміки є її практично безгістерезисна гнучкість. Готовий датчик тиску також вирізняється чудовим співвідношенням ціна/якість.
Перетворювач тиску JUMO
з керамічною вимірювальною коміркою.
Інноваційний запатентований датчик тиску з керамічним елементом забезпечує відмінну довготривалу стабільність <0,2%. Перетворювачі серії JUMO MIDAS C08 призначені для вимірювання відносного тиску в діапазоні від 1,6 бар до 60 бар рідин або газів в різних промислових застосуваннях.
Більше інформації про цю серію передавачів можна знайти тут