Wyzwanie

Reaktor do produkcji płytek składa się z 2 tarcz grafitowych, które są podgrzewane do odpowiedniej temperatury procesu. Aby uzyskać optymalne wyniki, dyski te muszą wykazywać specyficzne cechy. W trakcie tego procesu używany jest gaz, który powoduje, że płyta waflowa unosi się między obydwoma dyskami bez dotykania ich. Aby osiągnąć niezbędną temperaturę 1 200 stopni Celsjusza, stosuje się specjalne elementy grzejne Kanthal®.

Celem było zastosowanie innowacyjnych metod transferu ciepła, które pozwalają na bardzo szybkie nagrzanie płytki, a także bardzo szybkie jej schłodzenie. Obie strony płytki mają równomierny otwór o szerokości 0,15 milimetra, co zapewnia niezwykle efektywną przewodność cieplną. Wafel jest podgrzewany do temperatury dysków grafitowych w ciągu kilku sekund. Są one kontrolowane za pomocą specjalnego systemu kontroli ogrzewania.

Podejście do rozwiązania

Do sterowania ogrzewaniem stosowany jest tyrystorowy regulator mocy firmy JUMO. Sterownik JUMO TYA 201 kontroluje pożądany prąd i napięcie elementu grzejnego Kanthal® w każdej fazie temperaturowej, zapewniając tym samym dokładny profil temperaturowy procesu. System ten umożliwia produkcję wafli w optymalnej temperaturze, która jest zawsze identyczna.

Rezultat projektu

Dzięki właściwościom tyrystorowego regulatora mocy JUMO TYA 201 można było spełnić wymóg bardziej precyzyjnego sterowania i szybszej korekty temperatury. Dzięki temu innowacyjne metody transferu ciepła mogą być teraz stosowane w produkcji półprzewodników. W ten sposób firma Levitech spełnia wymagania rynku i jednocześnie zwiększa wydajność.