과제

웨이퍼 제조용 반응기는 적절한 공정 온도로 가열되는 2개의 흑연 디스크로 구성됩니다.To&nbsp최적의 결과를 생성하려면 디스크가 특정 기능을 나타내야 합니다. 이 과정에서 가스가 사용되어 웨이퍼가  터치하지 않고 두 디스크 사이를 가리킵니다. 필요한 온도인 섭씨 1,200도를 달성하기 위해 특수 Kanthal® 발열체가 사용됩니다.

목표는 웨이퍼의 매우 빠른 가열과 매우 빠른 냉각을 가능하게 하는 혁신적인 열 전달 방법을 적용하는 것이었습니다. 웨이퍼의 양면에는 0.15mm의 균일한 개구부가 있어 매우 효율적인 열전도율을 보장합니다. 웨이퍼는 몇 초 안에 흑연 디스크의 온도로 가열됩니다. 이들은 특정 가열 제어 시스템으로 제어됩니다.

솔루션 접근 방식

가열 제어 시스템은 JUMO의 사이리스터 전력 컨트롤러가 작동하는 곳입니다. JUMO TYA 201은 모든 온도 단계에서 Kanthal® 발열체에 필요한 전류와 전압을 제어하여 공정 중에 정확한 온도 진행을 보장합니다. 매번 동일한 최적의 온도로 웨이퍼를 생산할 수 있는 시스템입니다.

프로젝트 결과

JUMO TYA 201 사이리스터 전력 컨트롤러의 특성 덕분에 보다 정밀한 제어와 더 빠른 온도 보정에 대한 요구 사항을 충족할 수 있었습니다. 결과적으로 이제 혁신적인 열 전달 방법을 반도체 생산에 적용할 수 있습니다. 이것이 Levitech가 시장 요구 사항을 충족하는 동시에 처리 속도를 높이는 방법입니다.