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Chiller process
반도체 산업의 공정 과정 중 웨이퍼 건식 식각 장치와 진공 증착 등의 공정에서 과도한 열이 발생됩니다. 챔버의 내부 및 웨이퍼 주변 온도를 일정하게 유지하도록 공정 효율을 개선하는 열관리 장치를 Chiller라고 합니다. 이 칠러 장치 배관에서의 압력과 웨이퍼 온도 유지를 위해 필요한 coolants 의 레벨 및 전도도 측정이 필요합니다.
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JUMO MIDAS S05
JUMO MIDAS S05 (401010)
칠러의 배관 IN, OUT단의 air 미압압력측정
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용접된 측정시스템
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입력: 0 to 100 bar rel; 0 to 40 bar abs
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측정매체온도 -40 to +125 °C
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JUMO NESOS R02 LS (408302)
갈덴탱크 내의 갈덴 레벨측정
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플로트 및 리드 접점을 통한 점 레벨 측정
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높은스위칭전압
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선박 및 폭발방지구역의 승인
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JUMO tecLine CR(202924)
갈덴용액의 용액 변화 감지 및 외부 액체의 혼합유무를 측정
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측정 범위: 0.05 μS/cm to 1 mS/cm
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2전극식 시스템의 전도도센서
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온도센서 type 설정 가능
products
반도체 칠러 공정
semiconductor
Wafer Cleaning process
웨이퍼 생산라인의 클리닝 공정에 온도는 제어되어야 합니다.
공정에 따라 다르나, 일반적으로 웨이퍼는 원통형 탱크 안에서 8 ~ 12 번 정도 세척됩니다. 원통형 탱크에 사용되는 용액은 수산화나트륨NaOH3, NaOH2, 불산HF용해물 이며, 온도 범위는 0 .. + 300 ° C (최대 400 ° C)입니다. 탱크는 4 개의 외부 가열 요소로 가열됩니다. 이때 온도는 반드시 제어 되어야 하며 안전 온도 리미터는 안전 관련 스위치를 차단하도록 작동되어야 합니다.
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JUMO Safety M STB /STW
JUMO Safety M STB /STW
안전 온도 리미터(STB), 안전 온도 모니터(STW)
· 인증 : DIN EN 14597, SIL3, PLe, UL, DGRL, GL, CE </br> · 2개의 릴레이출력을 경고/리미트 값 알람으로 활용 가능 </br> · 1oo2D(2개의 온도센서를 통한 비교 상태 확인) </br> · USB인터페이스를 통해 손쉽게 사용할 수 있는 셋업 프로그램 제공 </br>
더 알아보기
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반도체 스크러버
Scrubber Process
스크러버는 반도체 제조 공정중에 발생되는 여러 종류의 유해 배기 가스들을 적정 기준치 이하로 처리하여 배출시키는 장치입니다. 세정방식에 따라서 wet(습식),dry(건식),bum(연소식), plasma (플라즈마식) 등으로 구분됩니다. </br> </br> 각 공정 속에서 배관의 압력, PH 측정 등에 JUMO의 제품이 사용됩니다.
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JUMO tecLine (201020)
JUMO tecLine (201020)
첨가된 가성소다 및 재사용수에 대한 PH&ORP측정
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고품질의 산업용 전극
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반도체 스크러버를 위한 불산용HF 스페셜 사양
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온도/압력범위: -5 to +135 °C / Upto 10 bar (at 50 °C)
novelties
JUMO dTRANS PH02 (202551)
JUMO dTRANS PH02 (202551)
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측정 : pH, redox, NH3, 온도, 유량
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2개의 pH센서를 활용한 값 측정 가능
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실시간 데이터 로거 등 설정 가능
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JUMO MIDAS S06 (401011)
JUMO MIDAS S06 (401011)
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0...+100mbar 상대압측정
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연결이음부 없이 용접되어 높은 공정안정성
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정밀도 (linearity) 0.3 to 0.35 %
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